Cù u rapidu sviluppu di l'industria di i semiconduttori, a scala di l'industria hè aumentata rapidamente, è l'attrezzatura di fabricazione di semiconduttori hà cuntinuatu à evoluzione in precisione è cumplessità. Siccome a ceramica hà i vantaghji di alta durezza, altu modulu elasticu, alta resistenza à l'usura, altu isolamentu, resistenza à a corrosione, bassa espansione, ecc., pò esse aduprata cum'è parte di macchine di lucidatura di silicone, attrezzatura di trattamentu termicu epitassiale/ossidazione/diffusione, macchina di litografia, attrezzatura di deposizione, attrezzatura di incisione di semiconduttori, macchina di impiantazione ionica è altre attrezzature, dunque a ricerca è u sviluppu è a pruduzzione di pezzi di ceramica di precisione influenzanu direttamente u sviluppu di l'industria di i semiconduttori. I requisiti tecnichi di a so preparazione sò sempre più alti.
Alumina d'alta purezza, alumina 99,7%-99,9%.
Alta resistenza meccanica, alta resistenza à l'usura, altu isolamentu elettricu, alta stabilità chimica, bona resistenza à u calore è resistenza à a corrosione. Attualmente, l'usu di u discu di macinazione ceramica per macinazione di wafer di siliciu semiconduttore hè u metudu di macinazione più superiore è all'avanguardia. U prucessu di macinazione à doppia faccia hè adupratu per macinà u wafer di siliciu tagliatu, è a qualità di u wafer di macinazione hè migliorata migliorandu u prucessu di macinazione (materiale di u discu, fluidu di macinazione, pressione di macinazione è velocità di macinazione, ecc.). In particulare, l'usu di piastre ceramiche invece di piastre di ghisa, per evità a macinazione nantu à a superficia principale di u wafer causata da cicatrici o inquinamentu, riduce l'introduzione di ioni metallichi, pò riduce a successiva trasfurmazione di u siliciu, accurtà u tempu di prucessu successivu (corrosione), migliurà l'efficienza di a produzzione è riduce a perdita di trasfurmazione di u siliciu, migliurà assai l'utilizazione di u siliciu.
Piastra di lucidatura di wafer à alta aluminahè adupratu in l'industrie di semiconduttori, petroliu, chimica, fotovoltaica, cristalli liquidi è altre industrie, cum'è parti meccaniche, parti elettroniche, discu d'induzione à microonde, materiali isolanti è altre parti, dispositivi à semiconduttori, apparecchiature di vacuum, apparecchiature di fabricazione di cristalli liquidi è altre parti. A ceramica d'alumina di grande dimensione è alta purezza hà un valore d'applicazione impurtante in l'industria di u zaffiro è in l'industria di i chip à semiconduttori. Hè un supportu chjave è un consumabile per a lucidatura chimica meccanica (CMP) di wafer di siliciu di zaffiro è semiconduttori. A ceramica d'alumina di grande dimensione è alta purezza pò ancu esse aduprata cum'è substratu d'alumina per LCD.
Data di publicazione: 27 di ghjugnu di u 2024